把洁净度要求高的工序设置在上风侧,把产生粉灰、有毒、有害、、废气的工艺设备、容器尽可能放在洁净区外,若必须放在洁净区内时应尽量采取密闭措施以减少粉尘和废气的排放量。
洁净室人员的准入制度、人员培训教育规定、进入洁净室人员的“人净程序”管理和退出管理制度等。 洁净服的管理:包括洁净服采购和制作(含材料选择)、洁净服使用管理、洁净服的清洗规定等。 物流管理:包括进入洁净室的物料准入制度,物料的清理和清扫规定、物净程序管理、废弃物管理制度。
以前称这类洁净室为“层流”洁净室。单向流和层流的名称均说明了其气流的状况:气流以一个方向流动(或是垂直的或是水平的),并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分钟至100英尺/分钟)的均速流过整个空间。
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